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PI Hera壓電陶瓷線性精密定位器 行程為50至1800微米 分辨率達0.1納米 線性誤差 0.02 % X、XY、Z版本;可提供XYZ組合 真空兼容版本達10-9百帕
PI-P-629.1壓電陶瓷線性精密定位器 應用領域 ? 干涉測量 ? 顯微鏡 ? 納米定位 ? 生物技術 ? 測試應用 ? 半導體技術 ? 光子 ? 光纖定位
PI-P-620.1壓電陶瓷線性精密定位器 行程為50至1800微米 ? 分辨率達0.1納米 ? 線性誤差 0.02 %
PI-P-611.1線性壓電陶瓷定位系統 緊湊型設計:表面為44×44毫米 行程120微米 分辨率達0.2納米
PI-P-915KWEF壓電六足位移臺 負載能力高達1500克 小位移為1納米/0.07微弧度 行程范圍達70微米