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PI(Physik Instrumente)納米定位器
:PI(Physik Instrumente)
公司簡介:
德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器,用于線性,旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或
提供用于運動和定位的成品子系統。
產品應用領域:
半導體制造
醫學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學
P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上 線性定位器,真空兼容達10-9百帕
P-733.2VL 精密XY向納米定位系統,100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計量,LEMO連接器,真空兼容至10-6百帕
PI(Physik Instrumente)納米定位器
· X和Y向上的行程達100微米×100微米
· 電容式傳感器使分辨率達0.1納米
· 帶直接驅動器的高速版本
· 可提供真空兼容和非磁性版本
· 并聯運動實現更高精度和動態
· 導向誤差主動補償的并行計量
· 零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統
· 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應用
PI(Physik Instrumente)納米定位器