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簡要描述:PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸:3個(gè)為線性,3個(gè)為旋轉(zhuǎn) 行程達(dá)200微米(線性)和1毫弧度(偏 擺角)
產(chǎn)品型號:
所屬分類:定位系統(tǒng)
更新時(shí)間:2024-03-11
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)
:PI(Physik Instrumente)
公司簡介:
德國PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器,用于線性,旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。
P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)
§ 6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸:3個(gè)為線性,3個(gè)為旋轉(zhuǎn)
§ 行程達(dá)200微米(線性)和1毫弧度(偏 擺角)
§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度
§ 電容式傳感器帶來gao線性度
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 優(yōu)異的掃描平面度
§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米
§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽 命
§ 超高真空兼容至10-9百帕
應(yīng)用領(lǐng)域
§ 掃描顯微鏡
§ 超分辨率顯微鏡
§ 生物技術(shù)
§ 掩模/晶圓定位
§ 樣本定位
§ 干涉測量
§ 計(jì)量
訂購信息
P-562.6CD
PIMars6軸納米定位系統(tǒng),200微米,1毫弧度,平行計(jì)量 可按需提供其他行程。
PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)