PI六軸精密壓電平臺P-587 

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運(yùn)動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動和定位的成品子系統(tǒng)。

P-587 六軸精密壓電平臺

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度

§ 并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來gao線性度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 六 自由度主動補(bǔ)償

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

直接位置測量帶來大精度

運(yùn)動直接在運(yùn)動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實(shí)現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購信息

P-587.6CD

帶長行程的六軸納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器

PI六軸精密壓電平臺P-587